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沈阳IC装备产业精心培育一批重点企业

在推动IC装备产业发展的过程中,沈阳市注重点面结合、均衡布局,孕育了一批重点整机和零部件企业。

拓荆科技成立于2010年4月28日,是一家由“国家千人计划”专家姜谦博士带领的,以海外团队为主体,在承担国家02重大专项背景下成立的高新技术企业。六年来,先后开发出2-12英寸PECVD系列产品。2011年10月,首台国产12英寸PECVD样机出厂在中芯国际集成电路制造有限公司在线测试;2013年实现国产首台设备在中芯国际生产线上的成功应用与销售,打破了该产品被国外垄断的局面;2014年12寸PECVD成功拓展到3D-TSV领域,成功占领了国内新兴市场。2015年6月,12英寸国产PECVD设备在中芯国际集成电路制造有限公司累计生产突破10万片,月产能突破1万片,生产效能比国外同类设备提高10%。薄膜制备的可靠性、可重复性及工艺技术达到国际先进水平。2015年8月中芯国际采购了第二台设备用于28纳米工艺制程技术的研发。沈阳拓荆公司已经累计销售12台12寸PECVD设备,远超国家科技部下达的5台套的销售指标,在众多国家IC重大专项承担单位中,是屈指可数的能够超额完成市场销售考核指标的公司,受到专项管理办公室的好评。

芯源微电子是国内知名的专业半导体装备企业,公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造中的关键工艺设备。历经十多年的开拓与创新,企业在消化引进国外先进技术基础上,开发出四大TRACK系列产品,取得180多项技术专利。通过承担国家02科技重大专项任务,自主研制完成的12英寸喷/涂胶机、显影机、刻蚀机,填补了国内此项高端产品的空白,缩短了与国际先进技术的差距,与进口同类产品相比具有性价比优势,产品价格仅是进口设备的50%,可完全替代进口设备。目前,公司的产品已经通过台积电的在线测试,即将成为正式供货方。

富创精密专业从事半导体设备、光伏设备精密零件加工制造的科技企业。致力于半导体、光伏精密零部件及备件的研发、制造、销售和服务,是国内精密零部件制造的领先企业。公司承担了02科技重大专项中唯一的平台类项目,是为国家IC装备产业提供零部件支撑服务的公共技术服务平台。先后为上海微电子(光刻机)、北京七星华创(扩散炉)、沈阳芯源(匀胶显影设备)、沈阳科仪(罗茨泵)以及美国Transmill公司(光伏设备研发)等IC装备企业的提供了精密零部件配套服务,并成为行业领导者美国应用材料公司的正式零部件供应商。

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